このほどキヤノン販売株式会社（社長：村瀬治男）は、イスラエル国Negevtech社（社長：Dr. Arnon Gat）と、同社製パターンウエハー欠陥検査装置 "Negevtech（ネゲブテック） 3100" の日本国内における独占販売契約を締結し、12月7日より同装置の販売を開始します。これにより、キヤノン販売はパターンウエハー欠陥検査装置市場へ参入します。

Negevtech社 "Negevtech 3100"

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Negevtech社製パターンウエハー欠陥検査装置　"Negevtech 3100"

‥‥価格(税別)

4億5千万円 (発売日:12月7日)

この件に関するお問い合わせ先 キヤノン販売株式会社　ニュープロダクト販売企画部 TEL 03-3740-3373

キヤノン販売はこれまで半導体製造装置、液晶パネル製造装置、計測装置など、様々な半導体関連機器を市場投入し、活発な販売・サービス活動を展開してきました。
昨今の半導体デバイスの微細化・高密度化にともない、半導体製造の歩留まり向上を目的として、各工程においてウエハー上の回路パターンの欠陥や異物をより高精度・高速に検出することが求められています。

新製品 "Negevtech 3100" は、業界で初めて明視野と暗視野の両方の照明系を搭載したパターンウエハー欠陥検査装置です。これにより、従来の欠陥検査装置では検出できなかった微細な欠陥や異物を高精度に検出することができます。また、Negevtech社独自のStep&Image^TM テクノロジーにより、ウエハーを2次元で一括スキャンする高速画像処理方式を可能としており、従来の方式に比べ高速なスループットを実現しています。さらに、検出された欠陥画像を高いコントラストで鮮明に浮かび上がらせることが可能な2次元フーリエフィルターを採用し、DRAMやフラッシュといったメモリーやCMOSなどのイメージセンサーの欠陥検出において優れた効果を発揮します。