キヤノン販売株式会社（社長：村瀬治男）は、半導体や各種光学部品から樹脂・フィルムなどの軟質素材まで、様々な素材の表面形状を高精度に測定することが可能な、米国ザイゴ社製、非接触三次元表面形状測定装置 "Zygo NewView（ニュービュー） 6300／6200" を、6月9日より発売します。

Zygo NewView 6300

●	Zygo NewView 6300	‥‥価格(税別)	1,600万円～※ (発売日:6月9日)
●	Zygo NewView 6200	‥‥価格(税別)	1,600万円～※ (発売日:6月9日)
※システム構成により価格は変動します。

● キヤノン光学計測機器ホームページへ

この件に関するお問い合わせ先 キヤノン販売株式会社 計測機器営業本部　ZYGO営業部 TEL 03-3740-3334

ナノテクノロジーは、21世紀の産業を牽引する基盤技術で、IT・エレクトロニクス分野、環境・エネルギー分野、医療・バイオ分野などの産業の発展に貢献しつつあり、各分野における製品デバイスの複雑化、微細化が進むにつれ、これらの製造技術も急激に高度化しています。特に次世代製品デバイスの研究開発や製造においてナノレベルの超微細加工技術は不可欠で、これを支える計測評価においてもさらに高度な測定技術が求められています。

新製品 "Zygo NewView 6300／6200" は、こうした市場の計測ニーズに応えるもので、従来のザイゴ社の計測技術を継承しながら、さらに高精度に進化した次世代の非接触三次元表面形状測定装置です。
ザイゴ社独自の測定方式「走査型白色干渉法」を採用しており、粗面や段差面のほか超精密加工面の測定に対応し、0.1ナノメートルという業界最高レベルの高い垂直分解能を実現しているほか、顕微鏡光学系の高品位化を行うことで計測精度の向上を図っています。また、新たにフィルムアプリケーションソフトウエア※1を搭載したことにより、透過フィルムの表面性状評価を可能とし、MEMS※2や光磁気ディスクなどの基盤技術の研究開発や、液晶などのディスプレイ関連デバイスの素材研究など、幅広い分野の計測に対応しています。

※1　オプションになります。
※2　マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム（微小電子機械システム）の略。