干渉計は、光が波である物理特性から起こる干渉を応用したもので、面や光学系などの測定対象にレーザーを照射し、干渉縞(光の干渉によって発生する明暗の像)の形や間隔により、その形状の精度を測定する装置です。
昨今のデジタル家電の需要拡大や最先端半導体技術の急激な進展にともない、DVD(デジタル多用途ディスク)、HDD等の各種ディスク駆動装置やシリコンウエハー、各種光学系用レンズなど、電子部品・光学素子の生産分野では、より高精度でスピーディー、低コストでの量産体制が求められています。
新製品 "Zygo PTI 250シリーズ" は、こうした市場の計測ニーズに応えるもので、従来のザイゴ社製干渉計の高精度計測技術を継承しながら、小型軽量で低価格、25mmという小口径測定に対応した量産対応レーザー干渉計です。干渉縞を瞬時に検知する新しい測定方式「FlashPhaseTMアルゴリズム」を採用し、従来の測定方式では困難だった、空気対流や振動により干渉縞の揺れが生じる生産現場での測定を可能にします。また、7種類の球面原器や口径6mmに変換するコンバータにより、小口径の透過波面測定に最適です。生産ラインでの使用を考慮し、専用簡易ソフトウェアによる日本語化に対応しています。