発表日　2003年4月1日

キヤノン販売株式会社（社長：村瀬治男）は、フランスAlcatel Vacuum Technology社（仏通信機器大手アルカテル100％子会社）と同社製MEMS／MOEMS用Deep Plasma Etcher“Alcatel Micromachining System 200”の日本国内における独占販売契約を締結することで合意しました。2003年4月1日から同装置の販売、サービス業務を開始し、MEMS／MOEMS市場へ参入します。

キヤノン販売はこれまでも半導体製造装置、液晶パネル製造装置、計測装置など、様々な産業用機器を市場に投入するとともに、活発な販売、サービス活動を行なってきました。
今後ますます成長が期待されるMEMS（マイクロ･エレクトロ･メカニカル･システム）／MOEMS（マイクロ･オプティカル･エレクトロ･メカニカル･システム）市場に向け、半導体市場での強固な販売およびサポート力のあるキヤノン販売と、同市場への販売拡大をめざすAlcatel Vacuum Technology社との方向性が一致し、日本国内の独占販売契約を締結することで合意しました。また、同装置はMEMS／MOEMS市場向けだけでなく、各種化合物半導体や薄膜磁気ヘッド、半導体多層パッケージなどの製造においても、最適なエッチャーとして今後の役割が期待されています。