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ナノX線顕微鏡|EclipseXRM-900X線顕微鏡 XRM

業界最高レベルの高空間分解能を達成 EclipseXRM-900™

基本情報

装置名
EclipseXRM-900

Sigray社が特許出願中である独自の装置機構により、最高空間分解能300nmを実現。
さらに、最大100㎜φまでのサンプルにおいてサブミクロンレベルの空間分解能を達成。

Sigray社製 X線顕微鏡のおもな特長

X線顕微鏡業界 最高レベルの300nm分解能を達成

ジーメンススター空間分解能チャートを用いて、空間分解能300nmを示します。
上図がチャートの全体像です。右図が、チャートの拡大画像です。
最も内側の円の外縁が200nmです。2番目に内側の円の外縁は400nmです。

最大直径100mmのサンプルにおいて、サブミクロンレベルの空間分解能を達成

サンプル半径に対する空間分解能の図

標準的なX線CTは、幾何学倍率を用いるため、大型サンプルでは、高空間分解能測定が出来ません(左図の暗赤色領域)。

一方、高倍率の対物レンズを用いた光学系は、大型サンプルでの高空間分解能が可能になりましたが、共焦点による拡大光学系のため低検出効率で低スループットです(左図の赤線)。

EclipseXRMは、新しい光学系により、大型サンプルでサブミクロンレベルの空間分解能と高いスループットを達成しました(左図の青線)。

超大形のサンプル(例:30cm角のサンプル)の場合は、マイクロXCT装置ApexXCT-150で、より高速に撮像することが可能。

X線顕微鏡(XRM)によって、幅広いサンプルにおいて高コントラストでの測定が可能。

マウスの坐骨神経サンプル画像
マウスの坐骨神経サンプル画像

マウスの坐骨神経サンプルの比較画像です。空間分解能500nmのX線CT装置と比較して、空間分解能300nmのX線顕微鏡CT“EclipseXRM-900(XRM)”では、高い空間分解能により、軸索と髄鞘の形成状態が観察出来ます。

堆積岩(炭酸塩岩)のサンプル画像

左図:20倍対物レンズを使用した0.5μm空間分解能の他CT装置の画像。測定時間4時間。
右図:0.3μm空間分解能のX線顕微鏡CT“EclipseXRM-900(XRM)”の画像。測定時間2.5時間。

X線顕微鏡CT“EclipseXRM-900(XRM)”では画質が向上する上に、測定時間を短縮することが可能です。
同じ分解能で測定する場合には、更に測定時間を短縮することが可能です。

Sigray社製 X線顕微鏡のアクセサリ

特許取得済みの高輝度マルチターゲットX線源

X線顕微鏡CT“EclipseXRM-900(XRM)”のX線源は、最大5個のターゲット元素を選択できます。下にある例に加えて、追加のターゲット(例えば、PtやAg等)もリクエストによりご提供可能です。

X線ターゲットの変更によりアプリケーションごとにX線スペクトルを最適化でき、コントラストとスループットを最大化出来ます。

X線ターゲット材例 Silicon 1.74keV・Chromium 5.41keV・Copper 8.05keV・Gold 9.71keV・Molybdenum 17.48keV・Rhodium 2.7,20.2keV・Tungsten Bremsstrahlung

5個のX線スペクトルそれぞれに、可視光の「色」の概念と同様に、独自ピークのX線エネルギーと波長があります。例えば、青色の波長は450nmで、赤色の波長は750nmです。同様に、クロム製のX線管球のターゲットは2.3Åの波長のX線を生成し、銅製のターゲットは1.55Åの波長のX線を生成します。

X線エネルギーの切り替えイメージ

照射されるX線の色が適正な場合に、様々な組成や大きさのサンプルの撮像が、最適化されます。その結果、高コントラストと高スループットが実現可能です。他のXRMやマイクロCT装置では、タングステンターゲットのみのX線源を提供する場合が多いです。この場合、透過性は良いのですが、多くの撮像困難なサンプルで、コントラストが低くなります。

X線エネルギーと透過性・コントラストとの関係

Sigray社製 X線顕微鏡のソフトウェア

GigaRecon|トモグラフィ再構成ソフトウェア

毎回、高品質な画像の生成が可能な比類のない特長と最速な再構成時間を組み合わせたトモグラフィ再構成ソフトウェア。2048x2048x2200データセットの再構成時間は45秒以下です。GigaReconは、市場では最速な逐次近似画像再構成を提供し、従来のFDK再構成と比較して、大幅にトモグラフィ測定時間を短縮可能で、5倍以上の短時間データ収集で、高品質な画像を生成します。

GigaReconは、少量の投影像で、高品質なデータを提供します。
左図:標準的FDK再構成 右図:GigaRecon さまざまな画像再構成ルーチンに対応

Sigray3D|直感的な収集

  • 簡単で、直感的な操作性のソフトウェアにより、すぐに測定を開始できます。
  • AI搭載したAutoPilotにより、各々のサンプルに最適な測定条件を提案します。
  • 自動サンプル・ハンドリング・ロボット(SHR)で、最大14個のサンプル測定を実行できます。
Sigray3Dは、データ取得および測定のため、直感的な操作しやすいGUIを備えています。

関連情報

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キヤノンマーケティングジャパン株式会社 産業機器事業部 第二営業本部 営業部

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