レーザーロータリーエンコーダー

キヤノン独自の超精密光学技術を活かした高精度回転角度センサー レーザーロータリーエンコーダー

キヤノン独自の超精密光学技術を活かした高精度回転角度センサーです。光源に半導体レーザーを採用した回折光干渉方式により、超小型化と高パルスの両立を実現しました。ロボット分野、工作機械分野、計測機分野など幅広い分野で高精度の計測と制御を可能にします。

製品ラインナップ

商品特長

  • 高精度スケールの採用と回折光干渉方式により、小型・高精度を実現しました。
  • グレーティングディスクの回転中心に対し、対称な2箇所にレーザー光を入射し高精度を保証しました。
  • 新方式の反射光学系により、レーザーの波長変動による精度の影響を受けません。

原理

図のようにグレーティングディスクの回転中心に対し、点対称な2点にレーザー光を入射すると、レーザー光はグレーティングディスクにより回折されます。
この回折光の片側は+1次の回折光を、もう一方の側は-1次回折光を利用します。
左右各々の±1次回折光は、グレーティングディスクの1ピッチ回転により、位相が各々±2π変化します。
この±1次の回折光を左右のミラーで反射させグレーティングディスクに往復に入射させると、位相は±4π変化します。
この往復±1次1回折光を干渉させることにより4周期の明暗変化になり、グレーティングディスクの1ピッチ回転で4個の正弦波信号が得られます。

応用例

  • ロボットアームの角度制御
  • NCマシン用センサー
  • 低速回転時のモータースピード制御
  • 計測器用角度センサー

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キヤノンマーケティングジャパン株式会社 産業機器事業部 第二営業本部 営業部 営業第三課

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