Photomask Japan 2017 第24回ホトマスク技術展示会

キヤノンブースではRAVE社より最先端マスク向け高精度リペア機能、異物除去機能を搭載したMerlin-G、フェムトパルスレーザーを使用した高スループットリペア装置Eagle-fp、マスクヘイズ除去の新しい管理手法を提供するRhazer、マスク精密CO2ドライクリーニング装置EL-Cを展示します。またEUV TECH社よりEUVマスク用全自動反射率測定装置とEUVペリクル透過率測定装置および、EUVコントラストカーブツールを展示致します。当社ではこの展示会で、来るEUV露光時代への周辺装置提案、およびマスクメーカー様への新装置提案を目指しております。

開催概要

おもな出展商品

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