第22回マイクロマシン／MEMS展

キヤノンマーケティングジャパンブースではZygo社の非接触表面形状測定機の実機展示をはじめ、memsstar社の犠牲膜エッチング/コーティング装置、Obducat社のナノインプリント装置のパネル展示、MEMSデバイスの製造プロセスに欠かせないシステムを中心としたトータルソリューションをご紹介致します。
キヤノンマーケティングジャパンブースへ是非お立ち寄りください。

開催概要

開催期間

2011年7月13日（水）～15日（金）

開催時間

10:00～17:00

会場

東京ビッグサイト　東ホール

入場料

1,000円（但し、オフィシャルサイトで事前登録された方は入場無料）

主催

財団法人マイクロマシンセンター

主な出展製品

Zygo社製　非接触表面形状測定機 NewView7300（実機展示）

• 非接触表面形状測定機ハイパフォーマンスモデル

キヤノンMJ製　アッシング／エッチング装置　MAS-8220

• 高生産性と省スペースを両立した200mmハイスループットアッシング装置のベストセラー機

memsstar社製　犠牲膜エッチング／コーティング装置

• memsstar® Technologyの枚葉式犠牲層ドライエッチング・コーティング装置

Obducat社製　ナノインプリント装置

• 研究開発から量産とお客さまのニーズに対応するナノインプリント装置

キヤノン製　ナノインプリント用モールド

• 最大8インチ石英ウエハへ微細パターンを製作可能